Ke Hobane'ng ha Mekhoa ea ho Fana ka Khase ea UHP e le ea Bohlokoa Hakaale?
Tlhahisong ea semiconductor—mekhoa e kang ho etching, CVD, ho kenngoa ha ion, le lithography—likhase tsa ts'ebetso li lokela ho ba bohloeki bo phahameng haholo, hangata 99.9999% (6N) kapa esita le 99.99999% (7N). Esita le litšila tse setseng boemong ba ppb (likarolo ka limilione tse likete) kapa ppt (likarolo ka trillion)—joalo ka mongobo kapa oksijene—li ka baka likoli tse bolaeang joalo ka ho tšesaane ha gate oxide, li-voids tsa tšepe, kapa lipotoloho tse khutšoane holim'a li-wafer, tse ka 'nang tsa senya lotho eohle.
Ka hona, sepheo sa sistimi ea ho fana ka khase ea UHP ke ho tsamaisa likhase ho tloha mohloling ho ea sesebelisoa sa ts'ebetso ntle le ho senyeha ha bohloeki, ho thibela tšilafalo le ho lutla sebakeng se seng le se seng.
Ke Hobane'ng ha EP Tubing e Fetoha Mokokotlo oa Litsamaiso tsa UHP?
Phaephe ea EP (e hloekisitsoeng ka motlakase) e entsoe ka tšepe e sa hloekang e fetang ts'ebetsong ea ho bentša ka motlakase, e hlahisang bokaholimo bo ka hare bo kang ba seipone. Sena se etsa hore e be "mothapo" oa bohlokoa bakeng sa kabo ea khase ea UHP.
Bohloeki bo Felletseng – Thibelo Mohloling
Ho sebetsana le EP ho fokotsa ho rarahana ha bokaholimo ba ka hare (Ra) ho isa ho 0.13 µm – 0.25 µm kapa esita le ka tlase. Qetello ena e boreleli haholo e tlosa mapetso a manyenyane le libaka tsa ho monya, e sa siee sebaka sa hore likaroloana, li-ion tsa tšepe, kapa mongobo li khomarele.
Ho Hanela ho Silafala ho Ntlafalitsoeng - Ho Boloka Bohloeki
Mohato oa ho polishing ka motlakase o tlosa litšila tse holim'a metsi 'me o etsa lera le sa sebetseng le nang le chrome-oxide e ngata, le ntlafatsang haholo khanyetso khahlanong le likhase tse senyang tse kang Cl₂, CF₄, le HCl. Sena se thibela ts'enyeho ea lebota la liphaephe e ka hlahisang likaroloana kapa tšilafalo ea khase.
Bokgoni bo Ntlafetseng ba Phallo le ho Hloekisa ka Potlako
Lebota le boreleli la kahare le fokotsa ho hanyetsa phallo mme le potlakisa ho hlwekisa ha sistimi le ho nkela khase sebaka. Ditshebetsong tse hlokang ho fetoha ha khase ka potlako, sena se kgutsufatsa dinako tsa potoloho mme se eketsa phallo e ntle.
Thepa ea Bohlokoa - Tekanyetso ea "Moqhaka"
Tube ea boleng bo holimo ea EP e entsoe ka tšepe e sa hloekang ea 316L VIM-VAR (Vacuum Induction Melting + Vacuum Arc Remelting). Ts'ebetso ena ea ho qhibiliha habeli e netefatsa bohloeki bo feteletseng ba tšepe ea motheo, e leng ntho ea bohlokoa bakeng sa ho fihlela ts'ebetso e phahameng ea EP.
Maemo a Ts'ebeliso ea Bohlokoa
•
Mekhoa ea Bohlokoa– Ho fana ka likhase tse arabelang ka bohloeki bo phahameng bakeng sa ho tjhesa, CVD, ho kenngoa ha ion le lithography.
•
Likhase tse Ikhethang– Ho sebetsana ka mokhoa o sireletsehileng le likhase tse tukang, tse chefo, kapa tse senyang tse kang SiH₄, PH₃, Cl₂, le BCl₃. Bakeng sa likhase tse kotsi haholo, hangata ho sebelisoa tube ea EP e nang le likhoerekhoere tse peli (tube ea ka hare bakeng sa khase, jakete ea ka ntle e ntšoa kapa e hloekisoa ka naetrojene bakeng sa ho lekola ho dutla ha metsi).
•
Hardware ea Bohlokoa– E sebelisoa liphanele tsa kabo ea khase (VMBs), likhabote tsa khase, le lihokelo tsa lisebelisoa tsa ts'ebetso moo libaka tsa kahare tse hloekileng haholo li tlamehang ho hloekisoa.
Ka Nģ'ane ho Tubing: Lintho Tse Ling Tsa Bohlokoa Bakeng sa Sistimi e Felletseng ea UHP
Ho netefatsa botšepehi bo felletseng, sistimi e tlameha ho kenyelletsa:
•
Ho tjheseletsa ka Botlalo ka ho Iketsa– E etsoa ka hara ISO Class 5 (Class 100) kapa likamoreng tse betere tsa ho hlwekisa, e leng se felisang dipharologanyo tsa ho tjheseletsa ka letsoho le dikotsi tsa tšilafalo.
•
Lisebelisoa tsa Setiiso sa Sefahleho sa Tšepe e Felletseng– Tse kang mefuta ea VCR® kapa W Seal, tse itšetlehileng ka li-gasket tsa tšepe bakeng sa ts'ebetso ea ho se lutle lefela.
•
Ho Hloekisa le ho Paka ka Botebo– Hangata lipeipi tsa EP li hloekisoa ka metsi a hloekileng haholo, li omisoa, ebe li hloekisoa ka naetrojene pele li kenngoa ka har'a liphutheloana tse peli tsa kamore e hloekileng ho boloka bohloeki ba tsona "joalokaha li rometsoe" ho fihlela li kenngoa.
Ho kenya liphaephe tsa EP ha se phaephe feela—ke mola oa pele oa tšireletso ho phanong ea khase ea semiconductor. Bokaholimo ba eona bo boreleli haholo, ho hanyetsa mafome ho phahameng, le bohloeki ba thepa ea boleng bo holimo li ama ka kotloloho tlhahiso ea wafer, ts'epo ea sesebelisoa, le phaello e akaretsang ea lintho tse ntle. Lefatšeng la li-node tse ka tlase ho 5nm le litekanyetso tse thata tsa sekoli, ho kenya liphaephe tsa EP ha se khetho—ke motheo.
Nako ea poso: Phato-05-2026