Ho Ntša Mongobo le ho Ntša Dikaroloana ka Gas: Kamoo Qetello ea Bokaholimo e Amang Bohloeki ba Khase Kateng

Litsamaisong tsa khase tse hloekileng haholo tsa kajeno, phapang pakeng tsa ts'ebetso e nang le phaello le ho hloleha ho turang hangata e theohela ho seo u sa se boneng. Mongobo le likaroloana - tse lekanngoang ka likarolo ka bilione kapa esita le likarolo ka trillion - li ka silafatsa phallo ea khase ka khutso, tsa senya boleng ba sehlahisoa, 'me tsa koala mela ea tlhahiso ea semiconductor. Leha lisebelisoa tsa ho sefa, ho hloekisa le ho laola phallo li fumana tlhokomelo e kholo, e 'ngoe ea litšusumetso tsa bohlokoa ka ho fetisisa bohloeking ba khase ke bokaholimo ba phaephe e jereng khase. Kamoo bokaholimo boo bo phethoang kateng bo etsa qeto ea hore na bo ka monya mongobo o mokae, hore na bo ka tšoasa likaroloana tse kae, le hore na bo tla tsoa khase e kae nakong eohle ea sistimi. Tataiso ena e hlalosa mekhoa ea ho ntša mongobo le likaroloana, e lekanya tšusumetso ea qetello ea bokaholimo bohloeking ba khase, 'me e hlalosa maano a ho qeta le a ts'ebetso a sebelisoang ho fana ka ts'ebetso ea bohloeki bo phahameng haholo (UHP).

Ho ba le moea o feteletseng ke eng hona hobaneng ho le bohlokoa?

Ho ntša khase ke ho lokolloa butle-butle ha likhase le mongobo tse monyehileng kapa tse monyehileng holim'a thepa kapa tse qhibilihisitsoeng ka har'a mealo ea eona e haufi le bokaholimo. Ho lokolloa hona ho bakoa ke ha khatello e potolohileng e theoha, mocheso o phahama, kapa khase ea ho hloekisa e feta holim'a bokaholimo - hantle feela maemo a fumanoang litsamaisong tsa ho fana ka khase, likamoreng tsa vacuum le lisebelisoa tsa tlhahlobo. Litsamaisong tsa tšepe e sa ruseng, mouoane oa metsi ke oona o silafatsang khase haholo, o lateloa ke li-hydrocarbon le masala a ts'ebetso a setseng.

Esita le maemong a bonahalang a sa bonahale a le manyane, mongobo o ka arabela le dikhase tse ikgethang, dikarolwana tsa nucleate, wa etsa dipalo tsa tlhahlobo tse fosahetseng, mme wa etsa hore dikarolo tse nang le tjhefo di se ke tsa tjhefo jwalo ka di-controller tsa phallo ya bongata, di-valve le dikamore tsa ho bea di-deposition di nyenyefale. Ha di-geometri tsa sesebediswa di ntse di fokotseha mme di sebetsa difensetere di ntse di tiya, indasteri ya semiconductor e sutumelletse ditlhoko tsa bohloeki ba kgase ho tloha dikarolong ka milione (ppm) ho ya dikarolong ka dimilione tse dikete (ppb) le dikarolong ka trillion (ppt). Maemong ana, qetello ya bokahodimo ba tube ha e sa le ntlha e nyane - ke tlhaloso ya mantlha e lokelang ho etswa boenjiniere, ho netefatswa, le ho bolokwa ho tloha tshilong ho ya sesebedisweng.

Mekhoa ea Bohlokoa

Sebaka se Eketsehileng sa 'Nete sa Bokaholimo

Sebaka se seholo se nang le makumane se na le sebaka se seholo haholo ho feta se boreleli, 'me sebaka se seholo se bolela libaka tse ngata moo mongobo o ka khomarelang teng. Kamano ha e lekane: ho ba thata ka mokhoa oa litlhōrō, likhohlo le mehato ea moeli oa lijo-thollo ho atisa sebaka se sebetsang sa bokaholimo se fumanehang bakeng sa ho monya metsi. Ho fokotsa ho ba thata ha bokaholimo - ho lekanngoa e le Ra, karolelano ea lipalo ea kheloho ea boemo ba bokaholimo - ho tloha ho 0.8 µm ho isa ho 0.25 µm ho ka felisa karolo e kholo ea libaka tsa ho monya metsi, hobane mapetso a tebileng ka ho fetisisa, a tšoereng metsi ka manganga, a tlosoa ka ho feletseng. Ke ka lebaka leo qetello ea bokaholimo hangata e hlalosoang e le letamo le patiloeng la mongobo le etsang qeto ea hore na sistimi e lokela ho hloekisoa nako e kae pele e fihla bohloeking ba motheo.

Ho monya ha mongobo le ho ntša khase

Mongobo o theha maqhama a tsitsitseng le bokaholimo ba tšepe, haholo-holo ka mekhahlelo ea oxide e hlahang ka tlhaho holim'a tšepe e sa hloekang. Bokaholimong bo se nang chromium e ngata, limolek'hule tsa metsi li qala ka chemisorb ka ho toba ho oxide, ebe lia bokellana e le mekhahlelo e latellanang ea physisorbed. Ha tube e pepesetsoa vacuum kapa khase e phallang, mekhahlelo ena e ntša sorbed butle-butle: mekhahlelo e ka ntle e tlamiloeng ka mokhoa o sa tsitsang e lokolloa pele, ha metsi a chemisorbed a ntse a tsoela pele 'me a hloka matla, hangata ka mokhoa oa mocheso, hore a lokolloe. Sephetho se sebetsang ke hore tube e sa tsoa kenngoa kapa e sa phethoang hantle e tla ntša mongobo ka har'a phallo ea khase ka lihora tse ngata kapa esita le matsatsi, e lelefatsa nako ea ho hloekisa le ho boloka bohloeki bo le ka tlase ho tlhaloso.

Ho Koalloa ha Likaroloana

Mapetso a microscopic, masoba, le mapheo holim'a libaka tse makukuno a sebetsa e le libaka tsa polokelo bakeng sa likaroloana. Nakong ea ts'ebetso e tloaelehileng likaroloana tsena li ka 'na tsa lula li tšoasitsoe, empa potoloho ea mocheso, ho thothomela, kapa liphetoho tsa tšohanyetso tseleng ea phallo le lebelo li ka li tlosa, tsa romela ho phatloha ha tšilafalo molapong oa khase. Tlhahisong ea semiconductor, karoloana e le 'ngoe e ka baka sekoli se bolaeang holim'a wafer, 'me likaroloana tse lulang maotong a shoeleng kapa likoti tsa valve li tsebahala ka ho ba thata ho li tlosa hang ha sistimi e se e sebetsa. Libaka tse boreleli, tse se nang mapheo ha li fokotse feela palo ea likaroloana tse hlahisoang, empa li boetse li etsa hore libaka tse setseng li be bonolo haholo ho li hloekisa le ho li netefatsa.

Tšusumetso ho Hloekiso ea Khase

Khetho ea qetello ea bokaholimo e na le tšusumetso e tobileng, e ka lekanngoang bohloeking ba khase, nako ea ho hloekisa, le botsitso ba nako e telele. Libaka tse mpe tse ka har'a Ra 0.5–0.8 µm - tse tloaelehileng ho tube e huloang e batang e sa hloekisoang - li boloka mongobo le likaroloana tse ngata. Li tsoa ka matla haholo, li hloka linako tse telele tsa ho hloekisa, 'me ka kakaretso li loketse feela lits'ebetso tsa boemo ba ppm moo tšilafalo e amoheloang ka linako tse ling. Libaka tse boreleli tse ka har'a Ra ≤ 0.25 µm, hangata li hlahisoa ke electropolishing (EP), li itšoara ka tsela e fapaneng haholo: li fana ka libaka tse fokolang tsa ho monya metsi, ho tsoa ka tlase ha khase, le tlhahiso e fokolang haholo ea likaroloana. Phello e lekantsoe lithutong tse hatisitsoeng; phuputso e 'ngoe mabapi le titanium e bontšitse hore phokotso ea 35% ea ho se tsitse ha bokaholimo e hlahisitse phokotso ea 30% metsing a tsoang ka ntle ho khase, 'me mekhoa e tšoanang e tlalehiloe bakeng sa tšepe e sa hloekang. Bakeng sa litsamaiso tsa bohloeki bo phahameng ka ho fetisisa ba ppb le ppt, libaka tse hloekisitsoeng ka motlakase ha se mabothobotho - ke tlhoko.

Kamoo Qetello ea Bokaholimo e Amang Ts'ebetso ea Sistimi Kateng

Qetello ea bokaholimo e susumetsa ho feta ho ntsha khase. E ama nako ea ho hloekisa (libaka tse boreleli li fihla mongobong oa motheo kapele), ho tšoloha ha likaroloana tlas'a phallo, ho hanyetsa ho bola (libaka tsa EP tse se nang letho, tse nang le chromium e ngata li hanela ho hloekisoa), le ho hloeka (libaka tse boreleli li lokolla lintho tse hloekisang le ho hlatsoa metsi ka botlalo). E boetse e ama ho tjheseletsa: qetello ea bokaholimo e hloekileng, e laoloang e hlahisa boleng bo tsitsitseng ba ho tjheseletsa ba orbital, e fokotsang kotsi ea ho kenyelletsoa le ho fifala ha 'mala oa mocheso o ka bang mehloli ea tšilafalo nakong e tlang.

Maano a ho Fokotsa Tlokotsi

Ho fihlella le ho boloka bohloeki bo phahameng ba khase ho hloka motswako wa mekgwa, e nngwe le e nngwe e sebetsana le tsela e fapaneng ya tshilafatso.

Phekolo ea Bokaholimo

Ho polishing ka motlakase (EP) ke tekanyetso ea khauta bakeng sa litsamaiso tsa UHP. Ts'ebetso ena e tlosa lera le lesesaane, le laoloang la tšepe holim'a metsi, e batalatsa litlhōrō tse nyane, e bula le ho tlosa mapetso, 'me e ntlafatsa chromium ea filimi e sa sebetseng - e leng se etsang hore bokaholimo bo se ke ba ts'oaroa ke mafome le ho se boloke mongobo haholo. Ha u hlalosa terene ea khase ea UHP, khethaphaephe e se nang seamless e bentšitsoeng ka motlakasebakeng sa dikarolo tse kolobisitsweng le di-fitting tse tshwanang ho fihlela pheletsong e tshwanang; ho kopanya diqetello ka hare ho sistimi e le nngwe ho senya bohloeki ba kopano yohle. Bakeng sa ditshebediso tse sa hlokeng tjhelete e ngata, ho ntsha asiti le ho passivation (AP) le bright annealing (BA) di fana ka tekano e ntle ya bohloeki le ditjeo.

Ho Hloekisa le ho Sebetsana

Qetello ea bokaholimo feela ha ea lekana — ho hloekisa ka thata ho tlosa masalla a tlhahiso, oli le mongobo o setseng mehatong ea pele ea ts'ebetso. Mekhoa e tloaelehileng e kopanya ho tlosa mafura ka alkaline, ho hloekisa ka ultrasound, le ho hlatsoa ka metsi a hloekisitsoeng, ho lateloa ke ho omisa tikolohong e hloekileng le ho paka ka tšireletso e koetsoeng, e nang le mekotla e 'meli. Taeo ea ho sebetsana le eona e bohlokoa ka ho tšoanang: liatlana, lisebelisoa tse hloekileng le polokelo e koahetsoeng li thibela ho silafatsoa pakeng tsa tšilo le ho kenngoa ha ho qetela.

Ho baka ka ntle

Dikarolo tse futhumatsang tlasa vacuum kapa kgase e phallang ya ho hlwekisa di potlakisa ho ntsha mouwane wa metsi, di tlosa mongobo oo ho seng jwalo o neng o tla tswa kgase ho kena moyeng wa tshebetso nakong ya tshebetso. Ho hlwekisa ho bohlokwa haholo bakeng sa di-valve, di-fittings le manonyeletso a welded, moo jiometri le dibaka tse amehileng ke mocheso di etsang matamo a mongobo a patehileng. Ha di kopantswe le ho hlwekisa ho sa sebetseng, ho hlwekisa ho ka fokotsa nako eo sistimi e ntjha e e hlokang ho fihlella bohloeki ba motheo ho tloha matsatsing ho isa dihoreng.

Ho ntša metsi

Ho phalla ha khase e sa sebetseng, eo hangata e leng naetrojene kapa argon, ka hara sistimi ho tlosa ditshila tse ntshitsweng ke khase mme ho thibela mongobo hore o se ke wa monya hape. Ho ntsha khase ke mohato wa ho qala le mokgwa o tswelang pele: ditsamaiso tse entsweng hantle di boloka ho ntsha ha metsi a tlase dikarolong tse emeng mme di sebedisa khase ya ho ntsha metsi a hlwekileng haholo e le hore ho ntsha khase ka bohona ho se ke ha fetoha mohlodi wa tshilafatso.

Khetho ea Lintho

Ho sebelisa thepa e sa ntšeng khase e ngata ho fokotsa mehloli ea tšilafalo ea ka hare pele e e-ba teng. Bakeng sa tšebeletso ea UHP, tšepe e sa hloekang ea 316L e hlahisoang ke VIM-VAR (ho qhibiliha ha vacuum induction ho lateloa ke ho qhibilihisa ha vacuum arc) ke tekanyetso ea indasteri: ho qhibiliha ha vacuum habeli ho fokotsa lintho tse sa keneng tšepeng 'me ho hlahisa sebopeho se teteaneng, se ts'oanang se bonolo ho se qeta ka mokhoa o hloekileng le se sa kotsing ea ho tsoa khase. Thepa ea maemo a tlase e nang le lintho tse kenyellelitsoeng e ka hlola esita le qetello e ntle ka ho fetisisa ea bokaholimo, hobane lintho tse kenyellelitsoeng li sebetsa e le libaka tsa ho qala bakeng sa ho kenya likoti le tlhahiso ea likaroloana.

Ho Khetha Qetello e Nepahetseng ea Sebaka bakeng sa Kopo ea Hao

Liindasteri le lits'ebetso tse fapaneng li na le litlhoko tse fapaneng tsa bohloeki, 'me qetello e nepahetseng e leka-lekanya bohloeki khahlanong le litšenyehelo le ho fumaneha. Bakeng sa lits'ebetso moo bohloeki ba boemo ba ppb bo lekane - mohlala, mela ea ts'ebetso ea bohloeki bo phahameng le lits'ebeletso tsa meriana - aphaephe e se nang seamless e khanyang e nang le annealed (BA)e fana ka tekano e ntle ea boleng ba bokaholimo, taolo ea litekanyo le litšenyehelo. Bakeng sa tšebeletso e boima ka ho fetisisa, thepa e bentšitsoeng ka motlakase e hlalosoa ntle le ho sekisetsa.

• Tlhahiso ea semiconductor le ea phanele e bataletseng: Qetello ea EP, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, e nang le mekotla e 'meli le e netefalitsoeng ke sehlopha. Litekanyetso tsa ho tsoa ha gass le tsa likaroloana li hlalosoa ka ppb-ppt 'me li qobelloa ka litlhaloso tsa bokaholimo le palo ea likaroloana.
• Likhase tse ikhethang le tsa elektroniki: Liphaephe tsa EP kapa tsa BA tsa boemo bo holimo tse nang le qetello e laoloang ea kahare; likhabote tsa khase le liphanele tsa kabo li hloka boleng bo tsitsitseng ho tsoa karolong e 'ngoe le e 'ngoe.
• Meriana le theknoloji ea baeloji: Libaka tsa EP kapa BA tse bonolo ho li hloekisa le ho li netefatsa, li fihlela litataiso tsa ho qeta bokaholimo ba ASME BPE le ho tšehetsa lipotoloho tsa CIP/SIP.
• Lisebelisoa tsa tlhahlobo le chromatography ea khase:phaephe ea lisebelisoaka qetello e laolwang ka hare ho bophara le mamello e nepahetseng ya boholo, hobane botsitso ba lets'oao bo itshetlehile hodima kgase e ka phetwang, e se nang ditshila.
• Ts'ebetso e akaretsang le liphaephe tsa indasteri: Liphetho tsa AP kapa BA li fana ka bohloeki bo lekaneng bakeng sa ts'ebeletso ea boemo ba ppm ka litšenyehelo tse tlase.

Maemo le Litlhaloso tsa Indasteri

Ho totobatsa qetello ea bokaholimo ka nepo ho hloka puo e tloaelehileng. Ra (bohareng ba karolelano ea lipalo) ke paramethara e sebelisoang haholo, empa lits'ebetso tsa bohlokoa li boetse li bua ka Rz, Rmax, le palo ea tlhōrō, hammoho le litekanyetso tsa tekanyo ea bohare bo kang SEMI F19. Bakeng sa liphaephe tsa tšepe e sa ruseng, litšupiso tse tloaelehileng li kenyelletsa ASTM A269 le A270 bakeng sa phaephe e se nang sekoli le ea bohloeki, ASME BPE bakeng sa lisebelisoa tsa bioprocessing, le litekanyetso tsa SEMI bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor. Ha tlhaloso e hloka boleng ba EP, e lokela ho bolela boleng ba Ra, mokhoa oa tekanyo, le litekanyetso tsa kamohelo - mohlala, "Ra ≤ 0.25 µm, e lekantsoe ka stylus profilometry holim'a bokaholimo ba ka hare, e hlahlobiloe le ho netefatsoa ka 100%.

Lipotso Tse Botsoang Khafetsa

P: Ke boleng bofe ba Ra bo nkuwang e le ba UHP?

K: Mekhoa ea bohloeki bo phahameng haholo hangata e totobatsa Ra ≤ 0.25 µm, 'me lisebelisoa tse ngata tsa semiconductor li hloka Ra ≤ 0.13 µm holim'a libaka tse bentšitsoeng ka motlakase. Tlhokahalo e nepahetseng e itšetlehile ka ts'ebetso le sehlopha sa bohloeki se fanoang.

P: Na ho hlwekisa ka motlakase ho tlosa dikarolwana?

K: Ho hlwekisa ka motlakase ho tlosa lera le laolwang la tshepe, le tlosang dihloro tse nyane, mapheo le mapetso moo dikarolwana le mongobo di ipatang teng. Ha e nke sebaka sa ho hlwekisa: karolo e hlwekisitsweng ka motlakase hantle e ntse e lokela ho hlwekiswa, ho hlatsuwa le ho pakwa tlasa maemo a hlwekileng a kamore.

P: Qetello ea bokaholimo e ama nako ea ho hloekisa joang?

K: Libaka tse thata li boloka mongobo o mongata 'me lia o lokolla butle-butle, kahoo ho fihlela bohloeki ba motheo ho nka nako e telele. Libaka tse boreleli tse bentšitsoeng ka motlakase li ka fokotsa nako ea ho hloekisa ka lihora kapa esita le matsatsi, e leng se fetolelang ka ho toba lik'hamphani tse qalang tse potlakileng le nako e fokolang ea ho se sebetse.

P: Na tube e khanyang e nang le annealed (BA) e lekane bakeng sa litsamaiso tsa khase?

A: Tube ea BA e nang le Ra e ka bang 0.25–0.4 µm e loketse lits'ebetso tse ngata tsa bohloeki bo phahameng le tsa meriana. Bakeng sa tšebeletso ea semiconductor ea ppb–ppt le khase e khethehileng, ho sebelisoa electropolishing hangata.

P: Ke thepa efe e molemohali bakeng sa litsamaiso tsa khase tse hloekileng haholo?

A: Tšepe e sa ruseng ea 316L e hlahisoang ke ho qhibiliha ha VIM-VAR ke khetho e tloaelehileng bakeng sa litsamaiso tsa khase tsa UHP ka lebaka la ho ba le karolo e tlase ea eona le sebopeho se tsitsitseng le se hloekileng.

Qetello

Qetello ea bokaholimo ha se tšobotsi ea botle ea tube ea tšepe e sa hloekang - ke tlhaloso e sebetsang e laolang ho monngoa ha mongobo, ho bolokoa ha likaroloana, le ho ntšoa ha khase nakong eohle ea tsamaiso ea khase. Qetello ea bokaholimo bo boreleli ke ntho ea bohlokoa bakeng sa ho fihlela le ho boloka maemo a holimo a bohloeki ba khase. Ka ho totobatsa qetello e nepahetseng - e hloekisitsoeng ka motlakase bakeng sa ts'ebeletso ea UHP, e benyang kapa e qhibilihisitsoeng le e sa sebelisoeng bakeng sa lits'ebetso tse sa hlokeng letho - e e kopanya le thepa e sa hlokeng letho e kang tšepe e sa hlokeng letho ea 316L VIM-VAR, le ho e tšehetsa ka mekhoa e thata ea ho hloekisa, ho baka le ho hloekisa, baenjiniere ba ka haha ​​​​litsamaiso tsa ho fana ka khase tse fihlelang lipheo tsa bohloeki bo hlokang haholo ka mokhoa o tšepahalang 'me tsa li boloka moo bophelo bohle ba semela.